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FURUYA SEMI
真空与流体控制
面向半导体制造设备的真空系统与气体、液体控制需求，涵盖真空泵、真空计、阀门、质量流量控制器、压力传感器及管路接头。FURUYA SEMI 根据使用介质、压力范围、流量、材料和接口要求开展寻源，并在下单前确认技术规格与适配条件。
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Frequently Asked Questions
询购真空与流体控制产品需要提供哪些参数？
建议提供品牌、完整型号、数量、使用介质、工作压力、流量范围、温度及连接规格。真空泵需补充目标真空度、抽速要求和工艺气体信息；阀门需说明密封材料及驱动方式；质量流量控制器需说明校准介质、量程、电源和控制接口。铭牌照片及技术资料有助于准确确认。
接口尺寸相同的阀门、真空泵或流量控制器可以直接替换吗？
不能仅凭接口尺寸判断。还需核对性能范围、材料、密封、安装尺寸和控制方式。真空泵需确认抽速、极限压力及配套控制器；质量流量控制器需确认校准介质、量程、供压条件和通信协议。替代方案应根据实际工况评估，必要时完成测试后再投入使用。
用于高纯气体或腐蚀性化学品时，如何确认产品适用性？
需要明确介质名称、浓度、温度和压力，并核对与介质接触的金属、塑料及密封材料。高纯应用还需确认洁净度、表面处理、泄漏指标和包装要求。是否适用应以制造商技术资料及具体工况确认结果为依据，不能仅凭“不锈钢”或“半导体用”等描述判断。
本分类图片为产品示意图，不代表特定品牌或实际库存。产品规格、材料、校准条件、交期及保修以正式报价和合同为准。介质兼容性及系统适配性需在采购前确认；涉及危险介质、压力系统或真空设备的安装与操作，应由具备相应能力的专业人员完成。